作者:何云龙,陆小力,孙静,张金风,郑雪峰,马佩军,马晓华,郝跃(宽禁带半导体国家工程研究中央,西安电子科技大学,陕西省西安市 710071)择要:以氧化镓、金刚石和氮化铝为代表的超宽禁带半导体是继硅、砷化镓、氮化镓、碳化硅...
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